第171章 都搞定了 (第3/4页)

们刚刚做的试验，利用球形栅极，取代现在的鱼鳍式栅极，并且，利用多点加压，可以实现1纳米制程，晶体管数量可以达到200亿个，运算速度可以相比于5纳米的可以提高60%以上，功耗上面却节省了30%。”

    张振兴立刻拿起桌子上的报告，看完之后，一脸的震惊！

    “二维单晶石墨烯材料？140皮米？”张振兴说道。

    “没错，二维的单晶石墨烯材料，材料厚度几乎可以忽略不计，键长142皮米，因为和硅元素属于同族元素，与纯度达到20个九的单晶硅有很好的贴合性，因为它的导电性正好可以减少电阻，弥补硅的发热问题，同时可以提高运行速度。”

    “可是，这样一来，紫外光的强度又成倍数增加，而且，因为碳的光学特性，使它被吸收的更多，这样原本激光光源能够达到要求吗？”

    听到张振兴的话，陈阳忍不住感叹，不愧是研究芯片的，提的问题都一针见血！

    “为了能够实现高强度的光刻，我们使用波长更短，更加“锋利”的终极紫外光。”

    “什么？终极紫外光？”张振兴一脸的不解。

    “没错。紫外光的波长范围在10-216纳米之间，之前使用的光源在197纳米的深紫外光，现在光刻机使用的都是13。5纳米极紫外光源，而这还不够，我们用的终极紫外光就是紫外光的极限10纳米终极紫外光。”

    “不可能！绝对不可能！”张振兴脱口而出道。

    “现在用激光轰击锡液滴获得13、5纳米的极紫外光已经